你好，在國產光刻機概念上市公司中，具有代表性和實力的公司包括：
大族激光：大族激光科技產業集團股份有限公司主要從事工業激光加工設備與自動化等配套設備及其關鍵器件的研發、生產和銷售。公司的主要產品為通用元件及行業普及產品、行業專機產品、極限制造產品三大類。公司成為行業內較早入選國家工信部智能制造試點示范項目名單的企業。芯源微：沈陽芯源微電子設備股份有限公司主要從事半導體專用設備的研發、生產和銷售，產品包括光刻工序涂膠顯影設備（涂膠/顯影機、噴膠機）和單片式濕法設備（清洗機、去膠機、濕法刻蝕機），可用于8/12英寸單晶圓處理（如集成電路制造前道晶圓加工及后道先進封裝環節）及6英寸及以下單晶圓處理（如MEMS、MOSFET、Micro LED芯片制造等環節）。華特氣體：廣東華特氣體股份有限公司是以廣東佛山為產品研發基地，業務范圍覆蓋境內外近20個國家和地區，為全球1000余家客戶，包括INTEL、AMD、MICRON、ASML、TI、INFINEON、GLOBALFOUNDRIES、SAMSUNG、HYNIX等行業巨頭提供氣體及一站式服務，根據客戶所在行業不同，公司可分為集成電路行業客戶、光伏行業客戶、面板行業客戶及其他行業客戶，其中集成電路行業客戶為公司最主要的收入來源。

這些公司在國產光刻機領域都具備較強的技術實力和市場份額，是國產光刻機概念上市公司中的佼佼者。

請注意，以上內容僅供參考，投資需謹慎。在投資國產光刻機概念上市公司時，需要充分了解公司的業務范圍、市場份額、技術實力、財務狀況等因素，并關注行業發展趨勢和市場競爭狀況等因素以做出明智的投資決策。

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